型 號
TLSM160
光 源
650nm 半導(dǎo)體激光器可視激光束 1MW max
量程(mm)
0.5-60
精度(um)
±4
線性度(um)
±3
重復(fù)性(um)
±0.5
分辨力(um)
0.1
掃描速度
1600次/秒
工作溫度
0℃~45℃
尺寸(mm3)
500╳178╳40