技術(shù)規(guī)格：
1.測量表面光潔度范圍（表面粗糙度）：▽10～▽14
2.工作物鏡的數(shù)值孔徑：0.65
3.工作距離：0.5毫米
4.儀器的視場：
目視：φ0.25毫米
照相：0.21×0.15毫米
5.儀器的放大倍數(shù)：
目視：500倍
照相：168倍
6.測微目鏡放大倍數(shù)：12.5倍
7.工作臺升程：5毫米
8.X、Y方向移動范圍：≈10毫米
9.旋轉(zhuǎn)運動范圍：360°干涉顯微鏡用途：本儀器是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。儀器配對各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進(jìn)行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。 本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。