技術規(guī)格：
測量規(guī)范：0.1-0.006
▽ ▽
（相當于測量表面不平度深度范圍為0.1-0.03um）
工作距離：0.5mm
儀器的視場：目視 ф0.25mm
照相 0.21×0.15mm
儀器的放大倍數(shù)：目視500倍 照相168倍
測微目鏡放大倍數(shù)：12.5倍
測微分度值：0.01mm
綠色干涉濾色片波長 λ≈530nm
半寬度 λ≈10nm干涉顯微鏡用途：本儀器是用來測量加工零件（平面、圓柱等外表面）粗糙度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線鍍層等深度。配上TV系統(tǒng)，使觀察更加清晰直觀。