住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵

住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵

產(chǎn)品特點：

專為 PVD 應用而設(shè)計

與上一代型號相比，降低了壓縮機功耗，并提高了低溫泵的氣體容量

出色的雙逆變器技術(shù)允許在正常熱負荷運行條件下，*多 5 臺低溫泵與 1 臺 TM-30 壓縮機配對

或 11 臺低溫泵與 1 臺 TM-50 壓縮機配對，從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源

應用：

物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）

離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關(guān)重要的低溫表面處理工藝

半導體專用：

智能手機和平板電腦（包括內(nèi)置的加速度計和陀螺儀）

電視、藍光播放器和視頻游戲機

電腦、存儲卡和 USB 閃存盤

汽車導航和**氣囊傳感器、醫(yī)療和通信設(shè)備、工業(yè)機器人等等

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