住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)SICERA® Smart KZ-08在線冷阱
產(chǎn)品特點(diǎn):
SICERA® Smart KZ-08 在線冷阱是薄型冷阱型號(hào)
安裝在腔室和渦輪分子泵之間
無(wú)需額外接口即可補(bǔ)充渦輪分子泵的抽水速度
出色的雙逆變器技術(shù)允許在單個(gè)水冷壓縮機(jī)上混合配置冷阱和低溫泵,從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源
應(yīng)用:
物**相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)
離子注入是制造半導(dǎo)體晶圓和其他集成電路至關(guān)重要的低溫表面處理工藝
半導(dǎo)體專用:
智能手機(jī)和平板電腦(包括內(nèi)置的加速度計(jì)和陀螺儀)
電視、藍(lán)光播放器和視頻游戲機(jī)
電腦、存儲(chǔ)卡和 USB 閃存盤
鄂公網(wǎng)安備 42018502002758號(hào)