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產(chǎn)品資料

日本日立HITACHI，半導體蝕刻系統(tǒng)，成都供應

日本日立HITACHI，半導體蝕刻系統(tǒng)，成都供應
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI，半導體蝕刻系統(tǒng)，成都供應
  • 產(chǎn)品型號： 9000系列
  • 產(chǎn)品展商：日立HITACHI
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本日立HITACHI，半導體蝕刻系統(tǒng)，成都供應 日本日立HITACHI，半導體蝕刻系統(tǒng)，成都供應
產(chǎn)品描述
供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列  的詳細介紹
  1. 新的9000系列的串接式平臺，其模組腔室設計，可以提供制程使用的彈性以及未來的擴充性。
  2. 有助于順利過渡到未來450mm晶圓用設備的平臺和用戶界面標準化整合。
  3. 9000系列平臺采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等離子體蝕刻腔室，已經(jīng)過大批量生產(chǎn)的考驗。


應用晶圓直徑 300mm
裝置構(gòu)成 9 chambers (max.)
※
部分規(guī)格會與照片不一樣。


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