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日本日立HITACHI,高解析度FEB測量裝置,綿陽供應(yīng)
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日本日立HITACHI,高解析度FEB測量裝置,綿陽供應(yīng)
產(chǎn)品資料
日本日立HITACHI,高解析度FEB測量裝置,綿陽供應(yīng)
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
日本日立HITACHI,高解析度FEB測量裝置,綿陽供應(yīng)
產(chǎn)品型號:
CS4800
產(chǎn)品展商:
日立HITACHI
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
日本日立HITACHI,高解析度FEB測量裝置,綿陽供應(yīng) 日本日立HITACHI,高解析度FEB測量裝置,綿陽供應(yīng)
產(chǎn)品描述
供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800(CD-SEM)
的詳細介紹
考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI
*1
通過**設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗,搭載了高精度測量技術(shù)和*新的計量應(yīng)用。
通過光學(xué)軸自動化調(diào)整,減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
更高的圖像處理技術(shù),實現(xiàn)Recipe自動測量并提高產(chǎn)能。
新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用計算機的圖形顯示器和鼠標等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。
測量精度
1nm(3σ)(采用日立標準晶圓)
晶圓尺寸
直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動裝片裝置
2個
設(shè)備尺寸(主體)
1180(寬)× 2500(長)× 1990(高)毫米
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