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企業(yè)信息
第10年
  • 入駐時間： 2016-05-19
  • 聯(lián)系人：田偉信
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  • Email：twex@nagahorl.com
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：SHASHIN KAGAKU寫真化學(xué) 成像膜厚監(jiān)視器

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：SHASHIN KAGAKU寫真化學(xué)
  • 產(chǎn)品價格：0
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簡單介紹：
成像膜厚監(jiān)視器是一種計量工具，可以可視化透明多層膜的膜厚分布。 它可以通過使用光譜反射計以 0.1nm 的厚度分辨率可視化薄膜厚度分布。
詳情介紹：

成像膜厚監(jiān)視器是一種計量工具，可以可視化透明多層膜的膜厚分布。
它可以通過使用光譜反射計以 0.1nm 的厚度分辨率可視化薄膜厚度分布。

  • 判斷混合層的混合比例
    •  
  • 多晶硅的結(jié)晶度
  1. 可視化薄膜厚度均勻性
    • 在顯微鏡視野中測量薄膜厚度/質(zhì)量，顯示 3D 分布
  2. 膜厚分辨率 ： <0.1nm
    • 良好的厚度分辨率，相當(dāng)于光譜測定工具。
    • 波長可在 450nm 至 750nm 范圍內(nèi)選擇，精度為 1nm。
  3. 高速 / 高達(dá) 9 層的多層測量
    • 通過光譜反射法進(jìn)行并行處理

    **應(yīng)用程序

    1. （1） 數(shù)百種重復(fù)薄膜，如帶通干涉濾光片和復(fù)合多層薄膜，如溝槽結(jié)構(gòu)
    2. （2） 使用有效介質(zhì)近似 （EMA） 進(jìn)行亞微米花樣密度估計
    3. （3） 激光退火等局部區(qū)域結(jié)晶度評估
  1. 測量物鏡視場指定區(qū)域的膜厚分布。
    • 使用 1x 對象測量 6.6x8.8 mm□ 面積。
    • 使用 50x obj 測量 0.5um 空間分辨率。

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