X 軸 (驅(qū)動(dòng)部)

測(cè)量范圍

25mm(SJ-411)

測(cè)量速度

0.05,0.1,0.5,1.0mm/s

返回速度

0.5,1.0,2.0mm/s

移動(dòng)方向

向后

直線度

0.3μm/25mm(SJ-411)

定位

±1.5°（傾角），10mm（向上/向下）

檢測(cè)器

范圍/分辨率

800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(使用測(cè)頭選件時(shí)，*大可達(dá)2400μm)

檢測(cè)方法

無(wú)軌/有軌測(cè)量

測(cè)力

0.75mN

測(cè)針針尖:

金剛石, 60o / 2μmR

導(dǎo)頭

差動(dòng)電感式，曲率半徑40mm, 導(dǎo)頭壓力小于 400mN, 

評(píng)估能力

評(píng)估輪廓

P (原始輪廓), R (表面粗糙度曲線), DIN4776, 粗糙度曲線motif

評(píng)價(jià)參數(shù):

Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, Sm, S, Pc, R3z, mr (c), Rpk, Rvk,δc, Rk, Mr1, Mr2,Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr,SK, Ku, Δa, Δq, Wte, Wx, W, AW (可定制)Rz1max (ISO),Rmax (VDA, ANSI)

評(píng)價(jià)曲線

斷面曲線、粗糙度曲線、DF曲線、波紋曲線表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲線

曲線補(bǔ)償

拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補(bǔ)償、無(wú)補(bǔ)償

濾波類型

2CR, PC75, 高斯

截止波長(zhǎng)

lc: 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm
ls: 2.5, 8, 25mm

取樣長(zhǎng)度

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm;或增量為0.1mm, 0.1 - 25.4mm 之間的任意長(zhǎng)度

取樣數(shù)

×1、×2、×3、×4、×5、×6、×7、×8、×9、×10、×11、×12、×13、×14、×15、×16、×17、×18、×19、×20

電源

通過(guò)AC 適配器／可充電鎳氫電池, 充電時(shí)間約4小時(shí), *多可測(cè)量 1000 次

*大功耗

50W

外部數(shù)據(jù)/ 輸出:

USB I /F、Digimatic 輸出、RS-232C I /F、FootstichI/F (腳踏開(kāi)關(guān))

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

記憶卡 (2GB，選配)測(cè)量條件(*大500件)、測(cè)量數(shù)據(jù)(*大10000件) 的保存/調(diào)出

設(shè)備主要配置表

序號(hào)

主要部件名稱

型號(hào)規(guī)格

品牌

數(shù)量

備貨周期

1

主機(jī)

SI-410

三豐

1

2

臺(tái)座

178-039

三豐

1

3

檢出器

三豐

1

4

測(cè)針

三豐

1

5

AC適配器，電源線

1

6

十字螺絲刀，

1

7

打印紙

1

8

觸控筆

1

9

便攜手提箱

1

10

標(biāo)準(zhǔn)塊

1