附：ISO規(guī)定的潔凈度等級(jí)以及傳統(tǒng)分級(jí)
ISO14644
分級(jí)
*高濃度極限（顆粒數(shù)/m3）
近似對(duì)應(yīng)
傳統(tǒng)規(guī)格
0.1mm
0.2mm
0.3mm
0.5mm
1.0mm
5.0mm
ISO 1級(jí)
10
2
ISO 2級(jí)
100
24
4
ISO 3級(jí)
1,000
237
102
35
8
1級(jí)
ISO 4級(jí)
10,000
2,370
1,020
352
83
10級(jí)
ISO 5級(jí)
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100級(jí)
ISO 6級(jí)
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
1,000級(jí)
ISO 7級(jí)
352,000
83,200
2,930
10,000級(jí)
ISO 8級(jí)
3,520,000
832,000
29,300
100,000級(jí)
ISO 9級(jí)
35,200,000
8,320,000
293,000
新版GMP空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定如下表：
潔凈度級(jí)別
懸浮粒子*大允許數(shù)/立方米
靜態(tài)
動(dòng)態(tài)(3)
≥0.5μm
≥5.0μm(2)
≥5.0μm
A級(jí)(1)
3520
20
B級(jí)
352000
2900
C級(jí)
3520000
29000
D級(jí)
不作規(guī)定
注：
（1）為確認(rèn)A級(jí)潔凈區(qū)的級(jí)別，每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于1立方米。A級(jí)潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO 4.8，以≥5.0μm的懸浮粒子為限度標(biāo)準(zhǔn)。B級(jí)潔凈區(qū)（靜態(tài)）的空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO 5，同時(shí)包括表中兩種粒徑的懸浮粒子。對(duì)于C級(jí)潔凈區(qū)（靜態(tài)和動(dòng)態(tài)）而言，空氣懸浮粒子的級(jí)別分別為ISO 7和ISO 8。對(duì)于D級(jí)潔凈區(qū)（靜態(tài)）空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO 8。測(cè)試方法可參照ISO14644-1。
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