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按照硅片電阻率測量的國際標準（ASTM F84）及國家標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準，本機配置232電腦接口及USB兩種接口，
四探針薄膜電阻率測試儀
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四探針薄膜電阻率測試儀
.型號及參數(shù)
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規(guī)格型 |
FT-331 |
FT-332 |
FT-333 |
FT-334 |
FT-335 |
FT-336 |
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1.方塊電阻范圍 |
10-5～2×105Ω/□ |
10-4～2×105Ω/□ |
10-3～2×105Ω/□ |
10-3～2×104Ω/□ |
10-2～2×105Ω/□ |
10-2～2×104Ω/□ |
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2.電阻率范圍 |
10-6～2×106Ω-cm |
10-5～2×106Ω-cm |
10-4～2×106Ω-cm |
10-4～2×105Ω-cm |
10-3～2×106Ω-cm |
10-3～2×105Ω-cm |
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測試電流范圍
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0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
10μA，100μA，1mA，10mA， 100mA |
0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
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4.電流精度 |
±0.1% |
±0.2% |
±0.2% |
±0.3% |
±0.3% |
±0.3% |
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5.電阻精度 |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.5% |
≤0.5% |
≤0.5% |
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6.顯示讀數(shù) |
液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 |
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7.測試方式 |
普通單電測量 |
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8.工作電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
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9.誤差 |
≤4%（標準樣片結(jié)果） |
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10.選購功能 |
選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標準電阻
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11.測試探頭 |
探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針 |
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