罐體保溫套 在半導(dǎo)體集成電路制造中,有許多加工工序在高溫的真空室內(nèi)進(jìn)行,在這種環(huán)境下,產(chǎn)生的廢料都是直接升華成氣相經(jīng)真空管路排放。如果在排放過(guò)程中,溫度下降太多,這些氣體就可沉降聚集在管路或者各種閥門上,如果不及時(shí)**這些沉積物,就會(huì)增加晶片質(zhì)量缺陷,降低真空系統(tǒng)效率。 針對(duì)這種情況我公司把本公司生產(chǎn)的隔熱、加熱產(chǎn)品進(jìn)行整合來(lái)對(duì)管路及閥門進(jìn)行溫度的維持。根據(jù)客戶的要求及管路形狀進(jìn)行量身定做。 柔性加熱套主要由四層組成,分別為加熱層、內(nèi)襯、保溫層、外保護(hù)層,我們通過(guò)在加熱層里面設(shè)置溫度傳感器(PT100)、熱敏保護(hù)裝置通過(guò)信號(hào)線連接至電路控制箱上的溫調(diào)器來(lái)控制加熱套的工作溫度。 罐體保溫套 1)加熱層 技術(shù)介紹:加熱層主要由電熱絲通電產(chǎn)生熱量。 電熱絲技術(shù)指標(biāo):工作溫度范圍:-40℃~+1000℃ 規(guī)格:f≤1mm 絕緣體:耐高溫?zé)o堿玻纖布 發(fā)熱材料:鎳合金 試驗(yàn)電壓:220V 特長(zhǎng):電氣絕緣強(qiáng)度高具備良好的熱傳導(dǎo)性 其他:功率可根據(jù)要求設(shè)計(jì)生產(chǎn) 2)內(nèi)襯 技術(shù)介紹:內(nèi)襯層主要用于固定電熱絲并且起到良好的絕緣效果。 無(wú)堿玻璃纖維布技術(shù)指標(biāo):成分:無(wú)堿玻璃纖維 工作溫度:0℃~+550℃ 厚度:0.43mm 特長(zhǎng):絕緣強(qiáng)度高,柔韌性好。 3)保溫層 技術(shù)介紹:主要作用于電熱絲和外表面的隔熱效果。 玻璃纖維針刺氈技術(shù)指標(biāo) 厚度:3~25mm 寬度:1050~2000mm 密度:110~180kg/m2 耐熱溫度:600℃(熱收縮650℃) 導(dǎo)熱系數(shù):0.042W/m.k(300℃平均值) 吸濕率:<5% 4)外保護(hù)層 技術(shù)介紹:主要用于美觀隔熱,絕緣,耐酸堿性好。 特氟龍耐高溫布 厚度:0.05-0.6(mm) 長(zhǎng)期耐溫:-70℃~+280℃ 短期耐溫:+320℃ 表機(jī)摩擦系數(shù):0.05-0.1,介電常數(shù)小,絕緣性好 耐腐蝕性好,耐各種強(qiáng)酸,堿,鹽和有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品的腐蝕
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