FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器廣泛使用在半導體液晶產(chǎn)業(yè)用真空裝置數(shù)據(jù)存儲裝置工業(yè)鍍膜實驗室儀器大氣環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)，在CVD、PVD、離子擴散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并廣受好評。
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器技術(shù)特點 ◆低成本 FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器針對非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場合、保證了產(chǎn)品高性能同時，具有很好性價比。 ◆替換方便 FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用業(yè)界通用的通信方式，很容易對其他廠家的產(chǎn)品進行替換，從而實現(xiàn)提高性能和穩(wěn)定性的目的。 ◆高信賴和可靠性 FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器優(yōu)良的統(tǒng)性前世上有大約在行中的產(chǎn)品其年目界4萬只運中的產(chǎn)品，其一年內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽 FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
性能指標
FC-R7700CD/FC-R7700D系列
FC-R7710CD/FC-R7710D系列
FC-R7720CD/FC-R7720D系列
滿量程范圍
10Sccm-5Slm
N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
35-200Slm
響應(yīng)時間
滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒
滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒
精度
≤±1%滿量程
≤±2%滿量程
線性鍍
≤滿量程±0 5%
≤滿量程±0 5% ＃1
≤滿量程±1%
重復(fù)性
≤滿量程±0.2%
泄漏率
1X10E-7 Pa.m ³/sec
控制范圍
滿流量的2%-5% #2
壓差
49Kpa-275Kpa
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
147Kpa-275Kpa
正常工作壓
力
490Kpa
*高進氣壓力
980Kpa
溫度范圍
5-45℃(41-113℉)
輸入電源
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
-15VDC±2% 200mA
功率
3.1W max
3.5W max
輸入信號
0-5 VDC
輸出型號
控制閥形式
常開或常閉電磁閥
密封件
氟橡膠
材質(zhì)
316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠）
標準接口
1/4"VCR和Swagelok兼容
3/8"VCR,1/4"VCR
重量
1.0KG
2.7KG
＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-100%
＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為195-296Kpa