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產(chǎn)品資料

PEV-1壓電閥

PEV-1壓電閥
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：PEV-1壓電閥
  • 產(chǎn)品型號：PEV-1
  • 產(chǎn)品展商：Keyhigh
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
美國keyhigh PEV-1壓電閥（PEV-1　PIEZOELECTRIC　GAS　LEAK　VALVE）是為了適用真空系統(tǒng)的高精度氣體流量控制閥門，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括：磁控濺射鍍膜，光學鍍膜，ITO鍍膜，等離子體刻蝕等?？膳c國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高。
產(chǎn)品描述
PEV-1 壓電閥主要技術(shù)特點：   

1、控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制   
2、易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進口壓強控制儀   
3、響應(yīng)時間快   
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長   
6、無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關(guān)閉的特點

PEV-1壓電閥技術(shù)參數(shù)：
　　
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500　SCCM
漏率：<1x10？9　scc/sec（1ATM　HE　ON　INLET）
響應(yīng)時間：2微秒
*大進氣壓力：50　PSI
驅(qū)動要求：電壓：0？100　VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C　to＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進氣和出氣連接：1/4"Swagelok　Fittings
電氣連接：標準BNC
重量：800克
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