技術(shù)參數(shù)
*小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn))
<5×10-12mbar.l/s
*小可檢漏率(吸模式)
<3×10-8mbar.l/s
入口壓強(qiáng) 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
抽泵抽速
16-25立方米/小時(shí)
氦氣抽速(進(jìn)氣口處) 粗檢模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可檢質(zhì)量數(shù)
2、3、4amu, 氫,3氦,氦
電源電壓
110-120V;220-240V
重量
110公斤;242磅
尺寸,包括手把(長×寬×高)
1068×525×850毫米