1、標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸 單位：mm
規(guī)格30 45 60 80 100 150 200 250
直徑30 45 60 80 100 150 200 250
高度15 15 20 20 25 30 40 45
平晶特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形,方形平面平晶可定做.

2、可制成兩種精度： 1級(jí) 和 2級(jí)

3、工作面的平面度偏差允許值為：
直徑為 30至60mm 1級(jí)平晶 0.03μm
直徑為 30至60mm 2級(jí)平晶 0.1 μm
直徑為 80至150mm 1級(jí)平晶 0.05μm
直徑為 80至150mm 2級(jí)平晶 0.1 μm
更大尺寸平晶平面度偏差允許值，根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

4、工作面的局部偏差允許值為： 0.03μm

5、測(cè)量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時(shí)后進(jìn)行。