三、9J光切法顯微鏡規(guī)格
測量范圍不平度平均高度值
(微米)
表面光潔度級別
所需物鏡
總放大倍數(shù)
物鏡組件
工作距離
(毫米)
視 場
>1.0~1.6
>1.6~6.3
>6.3~20
>20~80
9
8~7
6~5
4~3
60timesN.A.0.55
30timesN.A.0.40
14timesN.A.0.20
7timesN.A.0.12
510times
260 times
120 times
60 times
0.04
0.2
2.5
9.5
0.3
0.6
1.3
攝影裝置放大倍數(shù) 約6倍 測量不平度范圍 (1.0~80)微米 不平寬度 用測微目鏡 0.7微米~2.5毫米 用坐標(biāo)工作臺 (0.01~13)毫米 儀器重量 約23公斤 外形尺寸 約180×290×470毫米