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潔凈室靜電的危害及處理方法

      

 (1)的組成部分的絕緣性的氧化膜的擊穿,引線燒斷或保險絲。如果人的身體帶來10KV(100PF)的靜電

荷,觸摸屏設備腳ESD,地球的形成瞬間脈沖峰值放電電流可達20A(10?100秒),更不用提高密度,細直

徑,薄SiO2薄膜的大規(guī)模集成電路,超大規(guī)模集成電路,IC,MOS也會遭受損傷。
  一般來說的移動設備的絕緣柵SiO2薄膜場強度E =(5-10)所述106V/cm的移動設備SiO 2膜的厚度為

1000,施加到器件的輸入引腳靜態(tài)電壓高于50V-100V的擊落穿的耐壓,并人體靜電超過50V,100V是極不

尋常。
 
  (2)引起的噪音,電磁干擾發(fā)射
  ESD引起的EMI電磁,頻率范圍前,后峰較尖,信號強,在電路中幾伏的能量相當于幾百MH2的MH2非

常強烈的噪聲可能會導致?lián)p壞的元件,設備和傳感器不正常工作,甚至會導致設備崩潰。
  ESD引起的EMI也觸發(fā)輸入的誤差信號或閂鎖現(xiàn)象的發(fā)生。如潔凈室,EMIF盒上的鋼模臺車的晶圓,

晶片ESD將通過電感的車,車輪絕緣,EMI擴散的原因晶圓處理器崩潰。
 
  (3)沖擊體
  ESD對人體或人體ESD當超過人體電擊極限電流5mA或更多的人會產(chǎn)生各種傷害的人的感情,導致員工

情緒不安,操作錯誤。
  潔凈室半導體,平板顯示器,光電,盡管做了很多工作,但潔凈室的靜電問題仍然影響著**生產(chǎn)

和產(chǎn)量,對生產(chǎn)成本和效益的影響,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。國外業(yè)內(nèi)專家估計,每年在美國造成的

損失的產(chǎn)品由于靜電8-33%,平均估計,每年在美國的價值高達10美元十億靜電損壞日本在20世紀80年代

,為電子行業(yè),電子產(chǎn)品報廢的分析ESD造成的損失占國內(nèi)的1/3。平板LCD,半導體,光電,有一個起步

較晚,靜電的危害時有發(fā)生,收益率越低。銀行,證券公司,機密數(shù)據(jù)庫,控制中心,電力調(diào)度室等,

,如果ESD是很容易造成干擾,數(shù)據(jù)丟失,情況更為嚴重。

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