JJF1318-2011影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范

1、圓形靶標(biāo)、嵌入式靶標(biāo)（2片）AUBAT-UG30

校準(zhǔn)：探測(cè)誤差(P2D)標(biāo)稱直徑(20~50)mm,圓度不超過(guò)MPEP_2D的圓形靶標(biāo)；

影像測(cè)頭探測(cè)誤差(PV)和變倍探測(cè)誤差(PZ) 標(biāo)稱直徑(0.1~1)mm,圓度0.5μm 且標(biāo)稱直徑在視場(chǎng)范圍內(nèi)的圓形靶標(biāo)。

2、專用臺(tái)階規(guī)AUBAT-ZT302

校準(zhǔn)：各截面測(cè)量結(jié)果一致性（EC），垂直尺寸測(cè)量誤差(EZ)

可根據(jù)具體計(jì)量需求定制專屬標(biāo)準(zhǔn)器！

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