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產(chǎn)品資料

等離子灰化機(jī)

等離子灰化機(jī)
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：等離子灰化機(jī)
  • 產(chǎn)品型號：PR500
  • 產(chǎn)品展商：Yamato/雅馬拓
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
等離子灰化機(jī)：大口徑石英工作倉配備，小型一體化設(shè)計(jì)，操作簡單的觸摸屏控制面板
產(chǎn)品描述
等離子灰化機(jī)性能特點(diǎn)：
等離子灰化機(jī):大口徑石英工作倉配備,小型一體化設(shè)計(jì),操作簡單的觸摸屏控制面板  

等離子灰化機(jī)性能用途：
硅晶圓表面光刻膠殘留物的灰化
零部件清洗
界面活性處理
微量研磨
基板的表面處理

等離子灰化機(jī)性能規(guī)格：
型號 PR300 PR301 PR500/PR510
同調(diào)方式 手動2軸同調(diào)方式 自動調(diào)諧
反應(yīng)槽 3室超硬質(zhì)玻璃φ64×160mm×3 1室超硬質(zhì)玻φ118×160mm 石英制φ215×305mm
加熱器 不銹鋼線圈加熱器 手動/觸摸屏聯(lián)動控制
配管材質(zhì) SUS不銹鋼、特佛倫、銅、銅合金 SUS不銹鋼、特佛倫
方式 DP方式
頻率 13.56MHz
反應(yīng)氣體 1系統(tǒng) 2系統(tǒng)
外形尺寸
(W*D*Hmm)		 438×520×556mm 438×520×656mm 438×520×760mm
輸出功率 Max.300W Max.500W
價(jià)格： 請問詢
                                                                                               
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