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產(chǎn)品資料

四探針測試儀SX1934測試架

四探針測試儀SX1934測試架
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  • 產(chǎn)品名稱:四探針測試儀SX1934測試架
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簡單介紹
四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試專用儀器。   儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用旋扭式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計算機(jī)技術(shù),使得測量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
產(chǎn)品描述
詳細(xì)參數(shù)
型號
SX1934(SZ82)
測量范圍
電阻率/Range:10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 電阻/resistance:10-6—105Ω
可測晶片直徑(*大)
φ100mm(標(biāo)配),方形230×220mm(*大)
*大電阻測量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個字
外形尺寸
400mm×440mm×120mm
儀器重量
電氣主機(jī):約4kg   測試臺:約5kg
測試環(huán)境
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾 無強(qiáng)光照射
電源
220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
 
探頭
Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn),同時符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。  
間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤1.0%;
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
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