熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，以及固體致冷中固體氬蒸發(fā)等累積量和閥門(mén)制造中泄漏量的測(cè)量等。在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監(jiān)控取樣氣體量。分流型熱分布式儀表應(yīng)用于30~50mm以上管徑時(shí)，通常在主流管道上裝孔板等節(jié)流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進(jìn)行測(cè)量。
冷卻效應(yīng)的插入式熱式氣體流量計(jì)國(guó)外近10年在環(huán)境保護(hù)和流程工業(yè)中應(yīng)用發(fā)展迅速，例如；水泥工業(yè)豎式磨粉機(jī)排放熱氣流量控制，煤粉燃燒過(guò)程粉/氣配比控制，污水處理發(fā)生的氣體流量測(cè)量，燃料電池工廠各種氣體流量測(cè)量等等。大管道用還有徑向分段排列多組檢測(cè)元件組成的插入檢測(cè)桿，應(yīng)用于鍋爐進(jìn)風(fēng)量控制以及煙囪煙道排氣監(jiān)測(cè)SO2和NOX排放總量。
液體微小流量熱式氣體流量計(jì)應(yīng)用于化學(xué)、石油化工、食品等流程工業(yè)實(shí)驗(yàn)性裝置，如液化氣流量測(cè)量，注入過(guò)程中控制流量；高壓泵流量控制的反饋量；藥液配比系統(tǒng)定流量配比控制；直接液化氣液態(tài)計(jì)量后氣化，供給工業(yè)流程或商業(yè)銷(xiāo)售。還有在色譜分析等儀器上用作定量液取樣控制以及用于動(dòng)物實(shí)驗(yàn)麻醉液流量測(cè)量。還未見(jiàn)到液體微小流量TMF國(guó)內(nèi)定型產(chǎn)品。
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