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位移傳感器
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位移傳感器
產品資料
位移傳感器
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產品名稱:
位移傳感器
產品型號:
Nanogage
產品展商:
其它品牌
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簡單介紹
此款位移傳感器為nm級別光學位移傳感器,分辨率可達10nm,測量范圍100um.不同于常用的電容式位移傳感器,由于其采用光學設計,具有對電磁**,可用于復雜的強電磁環(huán)境中。由于采用多種技術,使其靈敏度達到干涉儀級別。
產品描述
此款位移傳感器為nm級別光學位移傳感器,分辨率可達10nm,測量范圍100um.不同于常用的電容式位移傳感器,由于其采用光學設計,具有對電磁**,可用于復雜的強電磁環(huán)境中。由于采用多種技術,使其靈敏度達到干涉儀級別。
具有如下特色:
1.對溫度變化不敏感。
2.對電場,磁場及電磁輻射**。
3.具有大的可測范圍,對傳感器定位精度要求不高。
4.具有高的測量帶寬,適合于振動分析及高速測量。
5.具有小的測試區(qū)域。測試點大小可為30um~400um的測試光斑。
可應用于如下各場合:
1.定位控制。
2.振動測試。
3.離軸測量。
4.表面特性測試。
5.薄膜或涂層的厚度測量。
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