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產(chǎn)品資料
高頻開關(guān)電源維修
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簡單介紹
高頻電源維修范圍:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等工藝設備電源維修,進口設備工業(yè)電源、中科院射頻電源、高頻電源、美國AE電源維修 ,也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質(zhì)加熱設備的電源 CLX系列低頻電源等。高頻開關(guān)電源維修
產(chǎn)品描述
高頻開關(guān)電源維修、高頻電源維修范圍:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等工藝設備電源維修,進口設備工業(yè)電源、中科院射頻電源、高頻電源、美國AE電源維修 ,也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質(zhì)加熱設備的電源 CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻(VHF)電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動調(diào)諧網(wǎng)絡、ESC系列靜電夾盤電源 ,美國AE電源維修,美國MDX,MDXII,Pinnacle,Pinnacle,Diamond系列 等
DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX500,MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW,MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw,MDX II 18P
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VS E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中頻系列 ) :
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG
PEII :PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
PDX :PDX 500,PDX 900-2V,PDX 1250,PDX 1400,PDX 2500,PDX 5000,PDX 7.5K,PDX 8000,PDZ 2200,MSD 350W
PDW 600,PDW 2200 ; PDP 2500,PDP 3500 ; PEP 250,PEP 2500,PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A,LFGS:LFGS 1250B,LFGS:LFGS 1250C,LFGS:LFGS 1250D
RF ( 射頻系列 ) :
RFG : RFG 80維修,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000維修,RFG 3001維修,RFG 5500維修,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000維修,RFDS 2Kw-2KV
APEX : Apex 1513,Apex 2027,Apex 3013,Apex 4027,Apex 5513,Apex 7kW/13,Apex 10kW/13,Apex 3513,Apex 10013,Apex 8013,Atlas 2,
Atlas 1513,Atlas 3013,Atlas 2504,Atlas 2027,Atlas 2012,Atlas 4012,Atlas 5002,Atlas 5012,Atlas 5013,Atlas 5027,Rapid F
RFX : RFX 600維修,RFX 600A維修,RFX 1250維修,RFX 2500維修,RFX 5500維修,RFG-AZX維修
RFX II : RFX II 1250維修,RFX II 3000維修,RFX II 5500維修
HFG : HFG 2500維修,HFG 5000維修,HFG 4M維修
HFV : HFV-3K維修,HFV-5K維修,HFV-8K維修,HFV-L 3KW維修
RFPP : RF-5S 250/500W維修,RF-10維修,RF-10S維修,RF-20維修,RF-20S維修,RF-25維修,RF-30S維修,RF-30H維修,RF-35維修,RF-40維修,RF-50維修,RF-50S維修,
RF -10M維修,RF-10MWC維修,RF-20R維修,RF -20M維修,RF -25M維修,LF-5維修,LF-10維修,LF-20維修,LF-30維修,LF-50維修,HF-5維修,HF-10維修,HF-100維修,HF-150維修
Ovation VHF:VHF-2760W維修,VHF-2060維修,VHF-2560維修,VHF-35162維修
ICP Generator:ICP-1KW,ICP-1.5KW,ICP-1.6KW,ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300維修,HPG 13150維修,HPG 13300維修,HPG 27300維修
Dressler Cesar: Cesar 0210,Cesar 0220(200v/400v),Cesar 0225(200v/400v)
Cesar 0230(200v/400v),Cesar 0250(200v/400v),Cesar 026,Cesar 0410,Cesar 0420(200v/400v)
Cesar 0425(200v/400v),Cesar 0450(200v/400v),Cesar 046,Cesar 1310,Cesar 1312,Cesar 1320(200v/400v)
Cesar 1325(200v/400v),Cesar 133,Cesar 1330(200v/400v),Cesar 1350(200v/400v),Cesar 136,Cesar 2710
Cesar 2720(200v/400v),Cesar 273,Cesar 2740(200v/4000v),Cesar 276,Cesar 4010,Cesar 4020(200v/400v)
Cesar 403,Cesar 4040(200v/400v),Cesar 405,Cesar 6010,Cesar 6020(200v/400v),Cesar 603,Cesar 605
M2濺鍍電源 Thor 12K DC Plasma Power Supply.
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