技術(shù)參數(shù): 光學(xué)平臺(tái)高度 800mm
臺(tái)面厚度 50mm 100mm 200mm 300mm可選
工作面板材料、厚度 1Cr17不銹鋼 、面板6-10mm
臺(tái)面 蜂窩內(nèi)芯
布孔 公制M6、25mm×25mm等間距陣列
臺(tái)面平面度 ≤0.08mm/m2
平臺(tái)臺(tái)面粗糙度 ≤0.8μm,
臺(tái)面亞光處理 平臺(tái)振幅 5um
固有頻率 x方向:3Hz~7Hz y方向:3Hz~7Hz
負(fù)荷承載 600kg/㎡
水平調(diào)節(jié)方式 手動(dòng)調(diào)節(jié) 調(diào)節(jié)高度 ±10mm