Setra西特真空電容式壓力計Model 730是一款適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品，其采用采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。Setra西特真空電容式壓力計Model 730具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。Inconel® 設(shè)計保證通用性，所有接液部件均采用I n c o n e l T M 材料， 因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。I n c o n e l T M 材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)， 確保7 3 0 型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。
Setra西特真空電容式壓力計Model 730內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，7 3 0 型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計且所有壓力量程可直接承受耐壓45PSIA，其特性：·高精度：±0.5% 讀數(shù)·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能·工作溫度補(bǔ)償范圍寬·回路噪聲低，響應(yīng)快·不易受環(huán)境條件變化影響·出色的抗過壓設(shè)計·符合CE 和RoHS 規(guī)范等。
Setra西特真空電容式壓力計Model 730性能參數(shù)和物理參數(shù)如下：
精度： ±0.5%讀數(shù) 、±0.25%讀數(shù)（可選） 響應(yīng)時間：<20 ms 分辨率無限，僅受輸出噪聲的限制（≤0.005%FS）
補(bǔ)償范圍：0~+50℃ 零點漂移：0.25% FS/50℃ 長期穩(wěn)定性： 0.5% FS/1年，不受環(huán)境條件影響
工作溫度：0至+80℃ 量程漂移1.35%讀數(shù)/50℃
激勵/輸出： 12-30 VDC/0-10 VDC 9-30 VDC/0-5 VDC 電流消耗：<10 mA（最大值） 輸出負(fù)載：>10 kΩ 輸出阻抗<1 Ω
壓力介質(zhì)：量程漂移1.35%讀數(shù)/50℃ 環(huán)境參數(shù)與Inconel®兼容的氣體或液體。Inconel®接液材料僅適用于0.5"管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。
殼體：不銹鋼 重量（近似值） <250 g