TSI AeroTrak? 9110 型便攜式粒子計數器的檢測精度可達到 0.100 μm!這通過** HeNe 激光技術實現,該技術不但維護成本低而且信噪比提高。9110 型特別適于進行 ISO-14644-1 I 級和 II 級無塵室分類。 該儀器設計用于無塵室監(jiān)測、工藝制程監(jiān)測及過濾器測試應用領域。