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產品資料

球差校正掃描透射電子顯微鏡

球差校正掃描透射電子顯微鏡
  • 如果您對該產品感興趣的話，可以
  • 產品名稱：球差校正掃描透射電子顯微鏡
  • 產品型號：HD-2700
  • 產品展商：日立
  • 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹
日立HD-2700型球差校正掃描透射電子顯微鏡配備了與德國CEOS GmbH公司共同開發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合**納米技術研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標準型號顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時，探針電流提高了10倍。
產品描述
日立HD-2700型球差校正掃描透射電子顯微鏡配備了與德國CEOS GmbH公司共同開發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合**納米技術研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標準型號顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時，探針電流提高了10倍。
儀器主要特點：
1、高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像
●HAADF-STEM圖像0.136nm，F(xiàn)FT圖像0.105nm（高分辨率鏡頭）
●HAADF-STEM圖像0.144nm（標準鏡頭）
●明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204nm（w/o球差校正儀）
2、高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍
●元素面分布更迅速及時
●低濃度元素檢測
3、操作簡化
●自動圖像對**能
4、從樣品制備到觀察分析實現(xiàn)無縫連接
●樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容
5、配有各種選購件可執(zhí)行各種評估和分析操作
●同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布和DF/EELS面分布圖像
●低劑量功能（使樣品的損傷和污染程度降至*低
●高精度放大校準和測量
●實時衍射單元（同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案）
●采用三維微型柱旋轉樣品桿（360度旋轉），具有自動傾斜圖像獲取功能
●ELV-3000即時元素面分布系統(tǒng)（同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像）
儀器技術參數(shù)：
項目
描述
圖像分辨率
w/o球差校正儀
保證 0.204nm（當放大倍數(shù)為4,000,000時）
w球差校正儀
保證 0.144 nm（當放大倍數(shù)為7,000,000時）（標準鏡頭）
保證 0.136nm（HAADF圖像）
保證0.105 nm（通過FFT）（當放大倍數(shù)為7,000,000時）（高分辨率鏡頭）
放大倍數(shù)
100倍 至 10,000,000倍
加速電壓
200 kV, 120 kV
成像信號
明場掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像（TE圖像）
暗場掃描透射電子顯微鏡：原子序數(shù)襯度圖像（Z襯度圖像）
二次電子圖像（SE圖像）
電子衍射
特征X射線分析和面分布（能譜分析）
電子能量損失譜分析和面分布（EV3000）
電子光學系統(tǒng)
電子源
肖特基發(fā)射電子源
冷場致發(fā)射器
照明透鏡系統(tǒng)
2-段聚光鏡鏡頭
球差校正儀（*）
六極鏡頭設計
掃描線圈
2-段式電磁感應線圈
原子序數(shù)襯度收集角控制
投影鏡設計
電磁圖像位移
±1 μm
試片鏡臺
樣品移動
X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
樣品傾斜
單軸-傾斜樣品桿：±30°（標準鏡頭）, ±18°（高分辨率鏡頭）
真空系統(tǒng)
 
3個離子泵，1個TMP
極限真空
10-8 Pa（電子槍）, 10-5 Pa（樣品室）
圖像顯示
個人電腦／操作系統(tǒng)
PC/AT兼容, Windows® XP
監(jiān)視器
19-inch液晶顯示器面板
圖像幀尺寸
640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
掃描速度
快掃，慢掃（0.5至320秒／幀）
自動數(shù)據顯示
記錄序號，加速電壓，下標尺，日期，時間
 
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