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- 產(chǎn)品名稱：微型角錐反射鏡干涉儀
- 產(chǎn)品型號：MI系列
- 產(chǎn)品展商：其他品牌
- 發(fā)布時間：2018-07-28
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
設(shè)計與操作：
MI系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器，采用立體角錐棱鏡為反射靶鏡，其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統(tǒng)。利用光纖耦合技術(shù)將激光器與干涉系統(tǒng)隔離。角錐棱鏡運(yùn)動產(chǎn)生的光學(xué)干涉信號通過光纖傳輸?shù)焦怆娦盘柼幚砼c激光電源單元，經(jīng)數(shù)據(jù)處理變?yōu)槲灰崎L度值。采用大范圍動態(tài)穩(wěn)頻He-Ne激光器與環(huán)境參數(shù)實時采集動態(tài)修正技術(shù)，使測量分辨率達(dá)1.24nm，干涉儀本身無線性
產(chǎn)品描述
| 設(shè)計與操作： |
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MI系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器，采用立體角錐棱鏡為反射靶鏡，其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統(tǒng)。利用光纖耦合技術(shù)將激光器與干涉系統(tǒng)隔離。角錐棱鏡運(yùn)動產(chǎn)生的光學(xué)干涉信號通過光纖傳輸?shù)焦怆娦盘柼幚砼c激光電源單元，經(jīng)數(shù)據(jù)處理變?yōu)槲灰崎L度值。采用大范圍動態(tài)穩(wěn)頻He-Ne激光器與環(huán)境參數(shù)實時采集動態(tài)修正技術(shù)，使測量分辨率達(dá)1.24nm，干涉儀本身無線性誤差。小巧的激光測量傳感頭與角錐棱鏡可以方便地與用戶的測量系統(tǒng)相結(jié)合，實現(xiàn)各種實驗與測量任務(wù)。儀器既可以通過專用的鍵盤與顯示器，也可以通過PC實現(xiàn)人機(jī)交互與測量。 |
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用 途： |
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移動平臺、顯微平臺、定位平臺、計量儀器以及機(jī)床的高精度激光干涉長度測量
單/雙/多軸精密工作臺的位移測量
機(jī)器床身的單/多軸定位
機(jī)床或坐標(biāo)測量機(jī)的校準(zhǔn)
振動、角度測量
實現(xiàn)長度、角度同時測量
各類高精度長度測量儀器與設(shè)備的研發(fā)
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主要技術(shù)參數(shù): |
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型號： MI Series MI150/MI5000
測定距離范圍（mm):150/5000
刻度分辨率（nm）：1.24
額定波長（nm）：632.8
激光預(yù)熱時間（min）：1/10-20
傳感器頭尺寸（H*W*D)：36*70*70
角錐棱鏡 尺寸（H*W*D)：13*30*15
光電信號處理單元尺寸（H*W*D)150*450*400
鍵盤/顯示單元尺寸（H*W*D)48*190*138
接口界面：RS-232或IEEE-488
PC插板（可選）：ISA-bus
傳感器頭重量（g）：200
電源：100-240VAC
光纖長度（m）：3m到25m（可選)）
工作溫度范圍15-30℃
*大后反射傳輸率（Retro-reflector Translation Rate）600mm/s
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主要工作特點(diǎn)： |
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高精度的長度測量儀器
易于調(diào)整，易于組成各種用戶測量儀器與系統(tǒng)
允許角錐棱鏡進(jìn)行高速運(yùn)動
角錐棱鏡的角度允許偏斜范圍大
光纖耦合的傳感測頭，不產(chǎn)生熱干擾
采用防止電磁干擾的信號接收/傳送元件
采用高精度穩(wěn)頻的He-Ne激光作為長度基準(zhǔn)
對環(huán)境因素引起的激光波長變化進(jìn)行修正
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