激發(fā)源
● Mo靶的X光管
● 風冷
● *大功率：30W
● *高電壓：50kV
● *大電流：0.8mA
● 測量點尺寸（程序控制）：0.1mm,0.3mm,0.5mm,1mm

樣品室
● 長：540 mm
● 寬：600 mm
● 高：250 mm
● 雙攝像機成像系統(tǒng)
● XYZ三軸步進馬達驅(qū)動， *大行程 250*250*150mm（10*10*6"）*小步進（分辨率）2.5μm
● 符合嚴格的ξ3 RoV(德國X射線標準)輻射防護標準

計算機
● 臺式Pentium™ 計算機
● Windows™操作系統(tǒng)
● 鍵盤和鼠標
● 顯示器
● 打印機

軟件
● 菜單式軟件，光譜儀參數(shù)調(diào)整和數(shù)據(jù)評估及計算，元素成分及分布顯示

檢測器
● Peltier 冷卻的Si漂移半導體計數(shù)器
● 以Mn Kα線，在測量計數(shù)率為1000 脈沖計數(shù)時，能量分辨率為：FWHM<150 eV
● *大計數(shù)率可達100,000 cps

其它規(guī)格
● 電壓:100 -127或，200-240V,50/60 Hz,16A
● 光譜儀功率：500VA
● 儀器尺寸：
長：612 mm
寬：720 mm
高：790 mm

底座尺寸:
長：612 mm
寬：640 mm
重量：80 kg