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- 產(chǎn)品名稱：SGC-2 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：SGC-2
- 產(chǎn)品展商：寧波璟瑞儀器儀表有限公司
- 發(fā)布時(shí)間：2008-06-28
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
橢圓偏振法測(cè)量的原理很早就已提出 ,相應(yīng)的測(cè)試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和** ,使得橢圓偏振法成為重要的測(cè)試手段 ,廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域〔1〕.其中測(cè)量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法*基本、也是非常重要的應(yīng)用之一 .
產(chǎn)品描述
l 測(cè)量范圍：1nm～4000nm；
l 測(cè)量*小值：≤1nm；
l 鍍膜折射率范圍：1.3 ~ 2.49
l 入射角：40°～90° 誤差≤0.05°；
l 偏振器方位角范圍：0°～180°；
l 偏振器步進(jìn)角：0.0375°/步；
l 儀器測(cè)量精度：在10nm處誤差為±0.5nm；
l 光學(xué)中心高度：75㎜；
l 允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；
l 外形尺寸：730 x230X 290；
l 主機(jī)重量：30kg；
橢圓偏振法測(cè)量的原理很早就已提出,相應(yīng)的測(cè)試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和**,使得橢圓偏振法成為重要的測(cè)試手段,廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域〔1〕.其中測(cè)量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法*基本、也是非常重要的應(yīng)用之一.
本儀器分為光源、接收器、主機(jī)、電子及通訊四部分，外觀參看右圖。
1、 光源：采用波長(zhǎng)為632.8nm的氦氖激光光源①其特點(diǎn)是：光強(qiáng)大、光譜純、波長(zhǎng)穩(wěn)定
性好。
2、 接收器：采用光電倍增管⑤，把光訊號(hào)變?yōu)殡娪嵦?hào)，經(jīng)放大后輸出至微機(jī)，由微機(jī)選擇出消光位置的角度值。
3、 主機(jī)部分：除以上兩項(xiàng)外，還有起偏組件②，樣品臺(tái)③，檢偏組件④。
4、 電子及通訊部分⑥：采集光強(qiáng)及對(duì)應(yīng)的角度值并傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，再接收由計(jì)算機(jī)發(fā)出
的指令逐步靠近消光點(diǎn)。
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