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寧波璟瑞儀器儀表有限公司
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產品詳情

微型平面反射鏡干涉儀[產品打印頁面]

  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:微型平面反射鏡干涉儀
  • 產品型號:SP系列
  • 產品展商:其他品牌
  • 發(fā)布時間:2007-10-15
  • 產品文檔:無相關文檔
簡單介紹
設計與操作: SP系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器。采用平面鏡或具有光學特性的反射表面為靶鏡,并允許有若干分的準直角度誤差而不影響激光束的正常工作。利用光纖耦合技術將激光器與干涉系統(tǒng)隔離, 其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統(tǒng)平面鏡運動產生的光學干涉信號通過光纖傳輸?shù)焦怆娦盘柼幚砼c激光電源單元,經(jīng)數(shù)據(jù)處理變?yōu)槲灰崎L度值。采用大范圍動態(tài)穩(wěn)頻激光器與環(huán)境參數(shù)實時采集動
產品描述
設計與操作:
    SP系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器。采用平面鏡或具有光學特性的反射表面為靶鏡,并允許有若干分的準直角度誤差而不影響激光束的正常工作。利用光纖耦合技術將激光器與干涉系統(tǒng)隔離, 其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統(tǒng)平面鏡運動產生的光學干涉信號通過光纖傳輸?shù)焦怆娦盘柼幚砼c激光電源單元,經(jīng)數(shù)據(jù)處理變?yōu)槲灰崎L度值。采用大范圍動態(tài)穩(wěn)頻激光器與環(huán)境參數(shù)實時采集動態(tài)修正技術,使測量分辨率達 1.24nm,干涉儀本身無線性誤差。小巧的激光測量傳感頭與角錐棱鏡可以方便地與用戶的測量系統(tǒng)相結合,實現(xiàn)各種實驗與測量任務。儀器既可以通過專用的鍵盤與顯示器,也可以通過實現(xiàn)人機交互與測量。
用  途:
    
  • 移動平臺、顯微平臺、定位平臺、計量儀器以及機床的高精度激光干涉長度測量
  • 單/多軸精密工作臺的位移測量
  • 機器床身的單/多軸定位
  • 機床或坐標測量機的校準
  • 振動、角度測量
  • 實現(xiàn)長度、角度同時測量
  • 非接觸表面微輪廓測量
  • 各類高精度長度測量儀器與設備的研發(fā)
  • 主要技術參數(shù):
     
  • 型號: SP Series SP120/SP2000
  • 測定距離范圍(mm):120/2000 
  • 刻度分辨率(nm):1.24
  • 額定波長(nm):632.8
  • 激光預熱時間(min):1/10-20
  • 傳感器頭尺寸(H*W*D):36*70*70
  • 光電信號處理單元尺寸(H*W*D)150*450*400
  • 鍵盤/顯示單元尺寸(H*W*D)48*190*138
  • 通信模式:RS-232(串行)或IEEE-488(并行)
  • PC插板(可選):ISA-bus
  • 傳感器頭重量(g):200
  • 光電信號處理單元重量(g):9500
  • 鍵盤/顯示單元重量(g):630
  • 電源:100-240VAC
  • 光纖長度(m):3m到25m(可選
  • 工作溫度范圍:15-30℃
  • 測量鏡*大移動速率: 600mm/s
  • 主要工作特點:
     
  • 高精度的長度測量儀器
  • 易于調整,易于組成各種用戶測量儀器與系統(tǒng)
  • 測量鏡可以采用平面鏡或其它反射性表面
  • 如果鏡面或其它反射表面足夠大,被測物件可以偏離光軸進行運動
  • 光纖耦合的傳感測頭,不產生熱干擾
  • 采用防止電磁干擾的信號接收/傳送元件
  • 采用高精度穩(wěn)頻的He-Ne激光作為長度基準
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