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- 產品名稱:微型平面反射鏡干涉儀
- 產品型號:SP系列
- 產品展商:其他品牌
- 發(fā)布時間:2007-10-15
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簡單介紹
設計與操作:
SP系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器。采用平面鏡或具有光學特性的反射表面為靶鏡,并允許有若干分的準直角度誤差而不影響激光束的正常工作。利用光纖耦合技術將激光器與干涉系統(tǒng)隔離, 其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統(tǒng)平面鏡運動產生的光學干涉信號通過光纖傳輸?shù)焦怆娦盘柼幚砼c激光電源單元,經(jīng)數(shù)據(jù)處理變?yōu)槲灰崎L度值。采用大范圍動態(tài)穩(wěn)頻激光器與環(huán)境參數(shù)實時采集動
產品描述
| 設計與操作: |
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SP系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器。采用平面鏡或具有光學特性的反射表面為靶鏡,并允許有若干分的準直角度誤差而不影響激光束的正常工作。利用光纖耦合技術將激光器與干涉系統(tǒng)隔離, 其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統(tǒng)平面鏡運動產生的光學干涉信號通過光纖傳輸?shù)焦怆娦盘柼幚砼c激光電源單元,經(jīng)數(shù)據(jù)處理變?yōu)槲灰崎L度值。采用大范圍動態(tài)穩(wěn)頻激光器與環(huán)境參數(shù)實時采集動態(tài)修正技術,使測量分辨率達 1.24nm,干涉儀本身無線性誤差。小巧的激光測量傳感頭與角錐棱鏡可以方便地與用戶的測量系統(tǒng)相結合,實現(xiàn)各種實驗與測量任務。儀器既可以通過專用的鍵盤與顯示器,也可以通過實現(xiàn)人機交互與測量。 |
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用 途: |
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移動平臺、顯微平臺、定位平臺、計量儀器以及機床的高精度激光干涉長度測量
單/多軸精密工作臺的位移測量
機器床身的單/多軸定位
機床或坐標測量機的校準
振動、角度測量
實現(xiàn)長度、角度同時測量
非接觸表面微輪廓測量
各類高精度長度測量儀器與設備的研發(fā)
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主要技術參數(shù): |
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型號: SP Series SP120/SP2000
測定距離范圍(mm):120/2000
刻度分辨率(nm):1.24
額定波長(nm):632.8
激光預熱時間(min):1/10-20
傳感器頭尺寸(H*W*D):36*70*70
光電信號處理單元尺寸(H*W*D)150*450*400
鍵盤/顯示單元尺寸(H*W*D)48*190*138
通信模式:RS-232(串行)或IEEE-488(并行)
PC插板(可選):ISA-bus
傳感器頭重量(g):200
光電信號處理單元重量(g):9500
鍵盤/顯示單元重量(g):630
電源:100-240VAC
光纖長度(m):3m到25m(可選
工作溫度范圍:15-30℃
測量鏡*大移動速率: 600mm/s
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主要工作特點: |
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高精度的長度測量儀器
易于調整,易于組成各種用戶測量儀器與系統(tǒng)
測量鏡可以采用平面鏡或其它反射性表面
如果鏡面或其它反射表面足夠大,被測物件可以偏離光軸進行運動
光纖耦合的傳感測頭,不產生熱干擾
采用防止電磁干擾的信號接收/傳送元件
采用高精度穩(wěn)頻的He-Ne激光作為長度基準
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