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真空度測試儀簡單參數及漏電電流的處理

發(fā)布時間:2013-10-12
真空度測試儀簡單參數及漏電電流的處理 
真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術,我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此,我公司開創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。

真空度測試儀技術參數

測量范圍:1×10-5 ~1×10-1Pa
測量誤差:1×10-4~1×10-1 Pa中誤差<10%
測量分辨率:10-5Pa
漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿。
允許環(huán)溫:0℃~55℃
空氣濕度:〈85%RH
電源:AC220±l0%
外型尺寸:455x330x250mm


真空度測試儀對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預測性,并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當內部真空度和外加激勵電源一定時,其放電電荷量是不同的,并且有相當的差異。為準確測量,對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度推算曲線,我公司的專家通過與國內主要真空滅弧室生產廠家的密切合作,取得了幾乎國內外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數據,通過數學處理,將其特征參數送入VC系列產品。因此,VC系列產品內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線,這是國內外同類產品中****的。
 

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