真空度測試儀的運(yùn)作指標(biāo)：
    量測誤差 < 10%

　　量測分辨率 0.01×10-4Pa

　　高壓輸出 DC22kV

　　環(huán)境溫度 －20℃～+70℃

　　空氣濕度 < 80%RH

　　電源電壓 AC220V 50Hz（±10%）

　　運(yùn)作功率 40～70W

　　重量 5Kg

　　外形尺寸 400×300×220（mm）

       真空度測試儀在量測原理上與目前常用的工頻耐壓法及磁控放電法有很大的區(qū)別，它無需磁控線圈，采用高壓直接擊穿，使用電光轉(zhuǎn)換及隔離傳感器采集陰極的離子電流，采樣信號(hào)經(jīng)過前級(jí)預(yù)處理電路轉(zhuǎn)換送入A/D，微處理器使用獲得的A/D數(shù)據(jù)進(jìn)行特定計(jì)算得到滅弧室的真空度。