日本Seiko Seiki STP系列磁懸浮分子泵1983年在全世界范圍內(nèi)開始廣泛銷售,其磁懸浮分子泵在世界上處于領(lǐng)導(dǎo)的地位。Edwards收購了日本精工,進(jìn)一步確定了自己在IC Fab,TFT,OLED及Harddisk等生產(chǎn)領(lǐng)域的地位等分子泵。
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