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- 產(chǎn)品名稱:KASUGA春日/KSD-0120/靜電測試儀
- 產(chǎn)品型號(hào):KSD-0120
- 產(chǎn)品展商:KASUGA日本春日
- 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間:2018-07-18
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簡單介紹
KASUGA春日/KSD-0120/靜電測試儀/靜電電位監(jiān)視裝置/靜電電位監(jiān)視裝置/KASUGA春日/KSD-0120/靜電測試儀
產(chǎn)品描述
KASUGA春日/KSD-0120/靜電測試儀
KASUGA KSD-0120 靜電電位監(jiān)視裝置產(chǎn)品特點(diǎn):
1:能用1臺(tái)控制器連接*大2ch的幅度電位傳感器(KS-2100)、能廉價(jià)地制造靜電監(jiān)視系統(tǒng)。
2:因?yàn)槭切⌒蛡鞲衅鞑?、能設(shè)置在各種制造裝置內(nèi)比較窄的地方、連續(xù)監(jiān)視可能。
3:因?yàn)橛芯瘓?bào)設(shè)定、如果在超越了設(shè)定的電位時(shí)、能與各種制造裝置傳動(dòng)。
4:裝備檢出傳感器的故障表示LED、能輸出到外部。
產(chǎn)品用途:
1:在平板顯示器生產(chǎn)工序的帶電量發(fā)生器監(jiān)視。
2:半導(dǎo)體wafer帶電量監(jiān)視。
3:用于LSI的處理和印刷電路板搬送的帶電量監(jiān)視。
產(chǎn)品規(guī)格:
| 型號(hào) |
KSD-0120 |
| 表示范圍 |
有效距離① ±1~±1999V |
| |
有效距離②±0.01~±19.99kV |
| 模擬輸出 |
0~±5V |
| 測量精度 |
±10%以內(nèi) |
| 警報(bào)設(shè)定 |
2頻道獨(dú)立設(shè)定及加減獨(dú)立設(shè)定 |
| 警報(bào)輸出 |
集電極開路(警報(bào)設(shè)定輸出及傳感器故障輸出) |
| 電源 |
DC12~24V或是AC適配器 |
| 消耗電力 |
20VA |
| 環(huán)境 |
溫度0~40℃、濕度65%RH以下(不會(huì)結(jié)冰打霜) |
| 重量 |
約360g |
傳感器部
| 型號(hào) |
KS-2100 |
| 感應(yīng)方式 |
振動(dòng)型表面電位傳感器 |
| 測量范圍 |
有效距離① ±1~±2000V |
| |
有效距離② ±0.01~±20.00kV |
| 模擬輸出 |
0~±5V |
| 測量精度 |
±10%以內(nèi) |
| 測量基準(zhǔn)距離 |
有效距離① 10mm |
| |
有效距離② 50mm |
| 警報(bào) |
感應(yīng)傳感器故障LED表示、外部輸出 |
| 電源 |
由KSD-0120供給 |
| 環(huán)境 |
溫度0~40℃、濕度65%RH以下(不會(huì)結(jié)冰打霜) |
| 重量 |
約100g(含電纜) |
| 附屬品 |
專用電纜5m(可用*大100m) |
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