對應(yīng)擴(kuò)張ISO Class1,10nm的離子風(fēng)棒AeroBarMP 5635
如針尖離子系統(tǒng)的小顆粒小于100nm半導(dǎo)體制造過程中和earoba電離模型5635 MP（離子系統(tǒng)制造）超低粒子功能的產(chǎn)品已開發(fā)的應(yīng)用程序需要管理。
· 單晶硅電極，電極材料在世界上廣泛采用****的跟蹤記錄，避免重金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)與超低粒子的特性
· 一個(gè)獨(dú)特的MP法（脈沖調(diào)制），進(jìn)行有效的高性能靜電消除的目標(biāo)離子
· 少偏頗了長期的揮桿特點(diǎn)和潛在的小酒吧，也可用于在距離100mm的離子平衡
· 自動(dòng)管理狀態(tài)離子生成和離子平衡在任何時(shí)??候，智能控制電路
· 一個(gè)可拆卸更換電極在1/4圈，有助于減少維護(hù)工時(shí)
· 小MP功能的方法，也簡化了安裝，也使行動(dòng)保持在長期的管理標(biāo)準(zhǔn)的離子平衡，是一個(gè)非常小的潛在秋千潛力
· 半導(dǎo)體前端進(jìn)程桿長度設(shè)置EFEM
· 內(nèi)臟器官的24V直流驅(qū)動(dòng)器控制器的設(shè)計(jì)緊湊
· 可在高層次的全球支持網(wǎng)絡(luò)
AeroBar MP的5635型號
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輸入電壓
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24V DC + / -10％
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輸出電壓
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可調(diào)至約13.5kv PP
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安裝距離
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100毫米?1000毫米（無空氣凈化）
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離子生成方法
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電暈放電法
MP 1?33 Hz的調(diào)制頻率的方法（脈沖調(diào)制）
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離子平衡
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自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)方法
的位置，直接下<+ /-10V <+ /-10V的區(qū)別在酒吧
（距離600毫米）
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電極
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單晶硅電極可更換
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吹掃氣
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清潔干燥的空氣或氮?dú)?/span>
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*大壓力吹掃
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310Kpa
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臭氧金額
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<0.05PPM（綜合價(jià)值為24小時(shí)）
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信號輸出
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集電極開路報(bào)警輸出IO
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維
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34毫米x 78毫米x長度深度高度低于
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450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
/ 1900/2050/2200/2350Mm
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外觀
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ABS樹脂
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和，10nm的ISO Class1的延伸？
為了回應(yīng)小顆粒管理，清潔的定義是通過自己的離子系統(tǒng)設(shè)置關(guān)于ISO Class1的擴(kuò)展，為10nm。ISO14644-1是*高的小粒徑100nm的定義。我們使用相同的公式計(jì)算允許粒子數(shù)，10nm的Class1的和擴(kuò)展的ISO ISO14644-1，允許顆粒的數(shù)量，這將是在粒徑為10nm或更多1200pc/m3（34 pc/ft3）
- 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
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