- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット
- 產(chǎn)品型號：真空紫外電源
- 產(chǎn)品展商：日本濱松
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時間：2018-08-06
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簡單介紹
供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット供應(yīng)真空紫外（VUV）光源ユニット
產(chǎn)品描述
真空紫外（VUV）光源ユニット
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「MgF2窓付き重水素ランプ」を內(nèi)蔵した真空紫外光源ユニットです。高輝度重水素ランプを搭載し、空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したL10366と、真空フランジ付屬のSUSフレキシブル管を採用したL10706があります。
真空紫外線による靜電気除去
従來の靜電気除去裝置では不可能であった減圧下での靜電気除去が可能！
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特許：
日本／特許第2816037號、特許第2977098號、特許第3169993號、特許第2996316號、特許第3377221號
米國／特許第5596478、特許第5254229
ヨーロッパ／特許第0597103
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用途
■電子線応用製品（SEM等）の靜電気除去
■減圧下での半導體製造等の靜電気除去
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