- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：供應(yīng)三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01
- 產(chǎn)品型號(hào)：C10352-01
- 產(chǎn)品展商：日本濱松
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2010-10-11
- 在線詢價(jià)
簡(jiǎn)單介紹
供應(yīng)三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01 供應(yīng)三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01 供應(yīng)三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01 供應(yīng)三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01 供應(yīng)三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01
產(chǎn)品描述
三次元形狀計(jì)測(cè)裝置 C10352-01
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C10352-01は、白色干渉法を用いた三次元形狀計(jì)測(cè)裝置です。MEMSデバイスの各面の平坦度や深さ、バンプ高さなどの0.1μm以上の高い計(jì)測(cè)精度要求に応えます。C10352-01は、高速で高精度な測(cè)定を低価格で計(jì)測(cè)したいというユーザーの要望に応えました。
製品説明
特 長(zhǎng)
● ナノメートルオーダーの高さ分解能で計(jì)測(cè)
● 二次元カメラによる畫面內(nèi)一括計(jì)測(cè)
● 対物レンズ交換により視野サイズを変更可能
● 26 μm/sの高速走査で計(jì)測(cè)
● オリジナル解析アルゴリズムにより高速?高精度な解析が可能
測(cè)定対象
● Si局所的エッチングの深さ計(jì)測(cè)
● ICチップ內(nèi)の反り
● バンプ電極の形狀計(jì)測(cè)
● マイクロレンズアレイの欠陥検査
● マイクログレーティングの形狀検査
● 研削?研磨面の粗さ
● LDチップのマウント位置と傾き
● LDアレイのマウント検査
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