靜電防護(hù)的基本思路和技術(shù)途徑:
靜電放電會(huì)對(duì)器件造成損害,但通過采取正確和適當(dāng)?shù)撵o電防護(hù)和控制措施,建立靜電防護(hù)系統(tǒng),那么就可以消除或控制靜電放電的發(fā)生,使其對(duì)元器件的損害降至*小。對(duì)靜電敏感器件進(jìn)行靜電防護(hù)和控制的基本思想有兩條:(1)對(duì)可能產(chǎn)生接地的地方要防止靜電的聚集,及采取一定的措施,避免或減少靜電放電的產(chǎn)生,或采取“邊產(chǎn)生邊泄漏”的方法達(dá)到消除電荷積聚的目的,將靜電荷控制在不致引起產(chǎn)生危害的程度。
(2) 對(duì)已存在的電荷積聚,迅速可靠地消除掉。
所以生產(chǎn)過程中靜電防護(hù)的核心是“靜電消除”。為此可建立一個(gè)靜電完全工作區(qū),即通過使用各種防靜電制品和器材,采用各種防靜電措施,使區(qū)域內(nèi)的可能產(chǎn)生的靜電電壓保持在對(duì)*敏感器件**的閾值下。其基本途徑有:
(1) 工藝控制法
旨在使生產(chǎn)過程中盡量少產(chǎn)生靜電荷.為此應(yīng)從工藝流程、材料選擇、設(shè)備安裝和操作管理等方面采取措施,控制靜電的產(chǎn)生和積聚,抑制靜電電位和靜電放電的能力,使之不超過危害的程度。
如在半導(dǎo)體制造過程中,當(dāng)高速器件的淺結(jié)形成工序完成后,對(duì)沖洗用的去離子水的電阻率就必須控制。雖然電阻率越高,潔凈效果越好,但電阻率越高。絕緣性越越好,在芯片上產(chǎn)生的靜電就越高。因此一般要控制在略高于8MΩ的水平,而不能是初始工序用的16-17MΩ。還有在材料選擇上,包裝材料要采用防靜電材料,盡量避免未經(jīng)處理的高分子材料。
(2) 泄漏法
旨在使靜電通過泄漏達(dá)到消除的目的。通常采用靜電接地是電荷向大地泄漏;也有采用增大物體電導(dǎo)的方法使接地沿物體表面或通過內(nèi)部泄漏,如添加靜電劑或增濕。*常見的是工作人員帶的防靜電腕帶,靜電接地柱。
(3) 靜電屏蔽法
根據(jù)靜電屏蔽的原理,可分為內(nèi)場(chǎng)屏蔽和外場(chǎng)屏蔽兩種。具體措施是用接地的屏蔽罩把帶電體與其它物體隔離開來(lái),這樣帶電體的電場(chǎng)將不會(huì)影響周圍其它物體(內(nèi)場(chǎng)屏蔽);有時(shí)也用屏蔽罩八被隔離的物體包圍起來(lái),使其免受外界電場(chǎng)的影響(外場(chǎng)屏蔽)。如GaAs器件包裝多采用金屬盒或金屬膜。
(4) 復(fù)合中和法
旨在使靜電荷通過復(fù)合中和的辦法,達(dá)到消除的目的。通常利用接地消除器產(chǎn)生帶有異號(hào)電荷的離子與帶電體上的電荷復(fù)合,達(dá)到中和的目的。一般來(lái)說當(dāng)帶電體是絕緣體時(shí),由于電荷在絕緣體上不能流動(dòng),所以不能采用接地的辦法泄漏電荷,這時(shí)就必須采用靜電消除器產(chǎn)生異號(hào)離子去中和。如對(duì)生產(chǎn)線傳送帶上產(chǎn)生的靜電荷就采用這種方法進(jìn)行消除。
(5) 整凈措施
旨在避免**放電的現(xiàn)象。為此,應(yīng)該盡可能使帶電體及周圍物體的表面保持光滑和潔凈,以便減少**放電的可能性【加濕器】【防潮箱】【防潮柜】【防爆除濕機(jī)】【防爆空調(diào)】【工業(yè)冷水機(jī)】【低濕除濕機(jī)】【高溫除濕】【抽濕機(jī)】【超聲波加濕器】【離心加濕器】【特種除濕機(jī)】【升溫除濕機(jī)】【防爆除濕機(jī)】【管道除濕機(jī)】【特種空調(diào)】【工業(yè)空調(diào)】【濕膜柜機(jī)加濕器】【實(shí)驗(yàn)設(shè)備】【機(jī)房空調(diào)】【空氣處理設(shè)備】【精密空調(diào)】【機(jī)房專用加濕器】【除濕機(jī)】【工業(yè)除濕機(jī)】【恒溫恒濕機(jī)】【精密空調(diào)】【機(jī)房空調(diào)】【空氣凈化器】【加濕器】【工業(yè)加濕器】【抽濕機(jī)】【工業(yè)抽濕機(jī)】【干燥機(jī)】【調(diào)溫除濕機(jī)】【升溫除濕機(jī)】【防爆除濕機(jī)】【管道除濕機(jī)】【除濕機(jī)常識(shí)】【除濕機(jī)原理】【除濕機(jī)功能】【加濕器用途】【除濕機(jī)用途】【空氣處理設(shè)備】【冷干機(jī)】【轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)】【UPS不間斷電源】