我們知道IC生產(chǎn)工藝要求的是潔凈車間或超凈車間。但國內(nèi)很少有廠家能做到無塵室里一粒particle都沒有，現(xiàn)在要求灰塵顆粒粒徑由原來的0.3μm降低到現(xiàn)在的0.1μm，但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線條寬度時，很容易使產(chǎn)品報廢。
工序靜電防護(hù)做的很好，該接地的都接了，要用的防靜電設(shè)備及靜電測試儀用品也用了，而且凈化等級做的也很高，為什么放置一段時間后還會吸灰呢？那是因為生產(chǎn)加工晶片的機(jī)臺或工作車間都裝有FFU高效過濾器，當(dāng)氣流與產(chǎn)品進(jìn)行摩擦后就會產(chǎn)生靜電，靜電累積到一定量的時候就會吸附灰塵。所以我們建議在高效過濾器下端裝不帶氣源的防靜電設(shè)備及靜電測試儀來保證整個空間的動態(tài)平衡。
電放電是電荷積累的過程，當(dāng)電荷積累到一定的程度，有個導(dǎo)體接近它就會產(chǎn)生靜電放電。舉個很簡單的例子，在干燥的冬季，人走動、摩擦后很容易積聚靜電，當(dāng)我們碰到金屬把手或開汽車門的時候會有觸電的感覺，這就是靜電放電，一般人體帶有3000-5000V的靜電時就會有明顯放電的感覺。
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