4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱:
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
OTF-1200X-50-4CLV-PE
產(chǎn)品展商:
科晶
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡(jiǎn)單介紹
為使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，常利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，這種方法稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。加熱爐設(shè)備的內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)的詳細(xì)介紹
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性能指標(biāo)和基本配置
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設(shè)備名稱
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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)—OTF-1200X-50-4CLV-PE
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外形尺寸
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長(zhǎng)*寬*高 2080mm*700mm*1520mm
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爐管規(guī)格
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外徑: 100mm
內(nèi)徑: 96mm×長(zhǎng): 1800 mm
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加熱爐主要參數(shù)
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● *高溫度: 1200℃
● 額定工作溫度: 1100℃
● 推薦升溫速率:≤10℃/min
● 加熱區(qū)長(zhǎng)度: L總：440mm（雙溫區(qū)包括隔環(huán)）
溫區(qū)一：200mm
溫區(qū)二：200mm
● 加熱爐額定功率：3KW
● 滑動(dòng)方式：電動(dòng)控制
● 滑動(dòng)*大行程：600mm
● 電壓：?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50HZ
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溫控系統(tǒng)
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● 歐陸EPC3000儀表
● 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能
● 智能化24段可編程控制
● 帶過電流過電壓保護(hù) 漏電保護(hù)
● 電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)
● 控溫精度: ±0.1℃
● 控溫：K型熱電偶兩根
● 通訊協(xié)議：modbus RTU
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軟件控制
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● 可視化運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控
● 溫控系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，射頻系統(tǒng)，滑動(dòng)爐體，開合爐體，壓力控制，全自動(dòng)化，
● 數(shù)據(jù)記錄、過程記錄集成一體
● 預(yù)制工作流程，一鍵自動(dòng)運(yùn)行
● 具有恒壓功能，可以設(shè)定氣體流量和恒定壓力
● 壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進(jìn)氣量為100-150sccm，管內(nèi)壓力為 100-130pa，如總進(jìn)氣量高于150sccm時(shí)，請(qǐng)更換抽速更高的泵，測(cè)試為總進(jìn)氣量為1L/min（滿足四路質(zhì)量流量計(jì)全開狀態(tài)時(shí)），使用VRD-60泵（抽速18L/s），*高真空為120-130pa（滿足起輝條件）,可在任意供氣量下設(shè)定任意氣壓值（該氣壓值需大于搭配泵體的*大真空值），氣壓值可自動(dòng)穩(wěn)定
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新式快捷法蘭
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可方便快速取放物料
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射頻電源
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● 500W射頻電源
● 0--500W可調(diào)（穩(wěn)定性±1%）
● 射頻頻率：13.56MHZ
● 自動(dòng)匹配 風(fēng)冷
● 噪音＜50dB
● 輸入電壓：AC108-250V
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供氣系統(tǒng)
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● 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精-確控制（精-確度：±0.02%）
● 流量范圍：一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
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真空系統(tǒng)
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● 搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進(jìn)氣量小于150sccm，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度）
● 搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進(jìn)氣量1L/min，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度）
● KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵
● 真空度可達(dá)10-2Torr
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備注
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注：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設(shè)備需要特殊改造及測(cè)試，（有法蘭過熱情況）
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