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產(chǎn)品名稱:
反射光譜薄膜測厚儀
產(chǎn)品型號:
TFMS-LD
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀，可快速精-確地測量透明或半透明薄膜的厚度，其測量膜厚范圍為15nm-50um，儀器所發(fā)出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率，并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧，方便于在實驗室中擺放和使用。
反射光譜薄膜測厚儀的詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù)
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測量膜厚范圍
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15nm-50um
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光譜波長
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400 nm - 1100 nm
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主要測量透明或半透明薄膜厚度
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氧化物
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氮化物
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光刻膠
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半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅等）
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半導(dǎo)體化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等）
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硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）
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聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
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金屬膜（點(diǎn)擊圖片可查看詳細(xì)資料）
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特點(diǎn)
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測量和數(shù)據(jù)分析同時進(jìn)行，可測量單層膜，多層膜，無基底和非均勻膜
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包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù)，新材料參數(shù)也可很容易地添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
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體積較小，方便擺放和操作
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可測量薄膜厚度，材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度
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使用電腦操作，界面中點(diǎn)擊，即可進(jìn)行測量和分析
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精度
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0.01nm或0.01%
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準(zhǔn)確度
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0.2%或1nm
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穩(wěn)定性
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0.02nm或0.02%
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光斑尺寸
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標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um
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要求樣品大小
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大于1mm
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分光儀/檢測器
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400 - 1100 nm 波長范圍
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光譜分辨率: < 1 nm
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電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
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光源
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5W的鎢鹵素?zé)?/span>
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色溫：2800K
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使用壽命:1000小時
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反射探針
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光學(xué)纖維探針，400um纖維芯
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配有分光儀和光源支架
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載樣臺
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測量時用于放置測量的樣品
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通訊接口
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USB接口，方便與電腦對接
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TFCompanion軟件
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強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)（n：折射率，K：消失系數(shù)）
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誤差分析和模擬系統(tǒng)，保證在不同環(huán)境下對樣品測量的準(zhǔn)確性
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可分析簡單和復(fù)雜的膜系
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設(shè)備尺寸
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200x250x100mm
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重量
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4.5kg
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