ZLS－26D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀是新型的全功能氦質(zhì)譜檢漏儀，機(jī)內(nèi)采用渦輪分子泵作主排氣機(jī)，啟動(dòng)快（僅五分鐘即可使用）。儀器可以在測(cè)試口壓強(qiáng)近似大氣時(shí)，采用道擴(kuò)散方式進(jìn)行檢漏，也可以在測(cè)試口壓強(qiáng)為50Pa以下時(shí)采用常規(guī)方式進(jìn)行檢漏；用常規(guī)方式檢漏時(shí)，可以在分流狀態(tài)下檢較大的漏隙（測(cè)試口壓強(qiáng)在50～10^-1Pa），也可以在不分流狀態(tài)下檢微小的漏隙（測(cè)試口壓強(qiáng)在10^-1Pa以下）。儀器測(cè)量范圍可達(dá)2×10^-1～2×10^-12Pa·m/S。儀器采用光柱和數(shù)碼管直接顯示漏率，且可按需要選用適當(dāng)?shù)穆┞蕟挝唬▋x器已給出四種常用單位Pa·m^3/S、Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s），讀數(shù)方便儀器有音響報(bào)警裝置，報(bào)警點(diǎn)可以任意設(shè)定，使用方便。本儀器適用于工廠車間和實(shí)驗(yàn)室對(duì)各種零部件作噴氦法（真空檢漏法）、吸氦法（壓力檢漏法）、背壓法檢漏。其中ZLS-26D型**已通過(guò)二炮驗(yàn)證，開(kāi)始批量為其提供配套。

主要技術(shù)參數(shù)：
儀器*小可檢漏率：優(yōu)于5～10^-12Pa～m^3/s
儀器*大可檢漏率：2×10^-1Pa～m^3/s
儀器漏率顯示范圍：2×10^-1～2×10^-13Pa～m^3/s
儀器的反應(yīng)時(shí)間： 不大3s
儀器質(zhì)譜室允許工作的*高壓強(qiáng)：1×10^-2Pa
儀器測(cè)試口允許工作的*高壓強(qiáng)：1000Pa
被檢件由粗抽至檢清的自動(dòng)切換點(diǎn)
（檢漏點(diǎn)）可調(diào)范國(guó)：50～10^-1Pa
音響器報(bào)警點(diǎn)設(shè)定范圍：任意
背壓法檢漏時(shí)間可調(diào)范圍：5～30s
儀器的啟動(dòng)時(shí)間： 不大于5min
儀器的輪廓尺寸： 640*550*980 mm^3
儀器的重量： 約75Kg

氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)比
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型 號(hào) *小可檢漏率Pa.m^3/s
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ZLS-23B 2·10^-11
ZLS-24B 2·10^-11
ZLS-24C 2·10^-11
ZLS-26D/T 5·10^-12
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型 號(hào) 反應(yīng)(**)時(shí)間 s
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ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
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型 號(hào) 讀數(shù)方式
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ZLS-23B 表頭（mV）
ZLS-24B 表頭和數(shù)字（量程自動(dòng)切換）
ZLS-24C 表頭和數(shù)字（量程自動(dòng)切換）
ZLS-26D/T 數(shù)字直讀
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型 號(hào) 特 點(diǎn)
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ZLS-23B 單主機(jī)，帶標(biāo)準(zhǔn)漏空
ZLS-24B 帶一套粗抽系統(tǒng)（泵2XZ-4B），使用
于各種檢漏方法，帶標(biāo)準(zhǔn)漏孔
ZLS-24C 帶二套粗抽系統(tǒng)，適用于批量檢漏，
帶標(biāo)準(zhǔn)漏孔
ZLS-26D/T 渦輪分子泵（德國(guó)萊寶50型）前級(jí)泵
（日本GLD030）粗抽泵（英國(guó)
EDWARDERV12），帶標(biāo)準(zhǔn)漏孔