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- 產(chǎn)品名稱：納米定位平臺X-TRIM
- 產(chǎn)品型號：X-TRIM
- 產(chǎn)品展商：Felles
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簡單介紹
這款納米定位平臺X-TRIM是美國Nutec公司高速高精度真空納米定位臺和納米位移臺,它采用先進技術(shù)設(shè)計, 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 適合高真空環(huán)境和非磁性定位應(yīng)用.
產(chǎn)品描述
這款納米定位平臺X-TRIM是美國Nutec公司高速高精度真空納米定位臺和納米位移臺,它采用先進技術(shù)設(shè)計, 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 適合高真空環(huán)境和非磁性定位應(yīng)用.
納米定位平臺X-TRIM采用了陶瓷伺服電機驅(qū)動，非常適合要求精度達到納米或壓納米的高精度和高重復精度的應(yīng)用，例如：精密生命科學儀器、顯微成像、納米準直、微納加工、光學**定位等。
X-TRIM納米定位平臺特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動任選:線性伺服或壓電驅(qū)動
高密度滾珠傳導增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺
緊湊型封裝
可真空使用
超強工作能力，大吞吐量
納米定位平臺X-TRIM采用無鐵芯直接驅(qū)動直線電機,驅(qū)動軸位于納米位移臺的中心線, 這種設(shè)計消除了非中心驅(qū)動導致的偏航,空回等問題.
納米定位臺集成了一個高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環(huán)的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標準配置就可以提供納米精度的定位.
納米定位平臺使用能夠了精密的滾珠導向系統(tǒng)確保了位移平臺高精度性能和嚴格的軌跡控制。
納米定位平臺也適合OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸，采用模塊化設(shè)計，用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
這款納米定位平臺使用了非接觸式直接驅(qū)動技術(shù)，提供堅固，**，高速的定位，滿足高頻率大工作量的需要。納米定位平臺使用了先進的無鐵直線電機直接確定技術(shù)，確保*優(yōu)異的納米級定位性能。
這款納米定位臺提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的**表現(xiàn)。它與傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動或壓電驅(qū)動相比，具有更大的工作效率和吞吐量。
納米定位平臺X-TRIM參數(shù)
行程(mm): 25和50mm(單軸或雙軸)
驅(qū)動系統(tǒng): 無鐵芯直線電機或陶瓷伺服電機
*大加速度: 由負載決定
*大速度: 200mm/s (無負載時)
*大推力: 24N
*大負載: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構(gòu)造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復精度: 5倍精度
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Travel Length (mm)
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25 mm
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50 mm
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25 x 25 mm
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50x 50 mm
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Trajectory Control
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Accuracy
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Linear Encoder
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± 1.0μm
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± 2.0 μm
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± 2.0μm
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± 4.0μm
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Straightness/Flatness
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± 1.0μm
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± 1.0μm
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± 2.0μm
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±2.0μm
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Yaw/Pitch/Roll
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5 arc-sec
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5 arc-sec
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10 arc-sec
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10 arc-sec
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2 axis system
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Orthogonality
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Standard Grade
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NA
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NA
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5 arc-sec
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5 arc-sec
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High Precision
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NA
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NA
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2 arc-sec
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2 arc-sec
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Extra High Precision
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NA
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NA
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1 arc-sec
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1 arc-sec
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納米位移平臺,真空納米定位臺由中國**的進口光學精密儀器旗艦型服務(wù)商-孚光精儀進口銷售,先后為北京大學,中科院上海光機所,中國工程物理研究院,航天3院,哈工大,南開,山東大學等單位提供上等進口的納米位移平臺,真空納米位移臺,納米位移臺.
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