簡(jiǎn)單介紹
Varian復(fù)合分子泵性能優(yōu)良,節(jié)能型設(shè)計(jì)進(jìn)一步提高了分子泵的可靠性和穩(wěn)定性,能耗和發(fā)熱小,復(fù)合分子泵抽速77 l/s,復(fù)合分子泵極限壓強(qiáng)5 x 10-8 mbar,復(fù)合分子泵可根據(jù)需要選擇冷卻方式。
產(chǎn)品描述
復(fù)合分子泵參數(shù)對(duì)照:
武漢普斯特科技有限公司擁有一支專(zhuān)業(yè)、優(yōu)良的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的真空泵維修經(jīng)驗(yàn),公司主要代理品牌:美國(guó)Agilent公司--原美國(guó)瓦里安真空泵湖北、江西總代理(離子泵、分子泵、擴(kuò)散泵、干泵、機(jī)械泵、羅茨泵、真空規(guī)及真空計(jì));美國(guó)MPF公司真空電極中國(guó)總代理(單電極、多電極、電壓型電極、電流型電極、同軸電極等真空電極Feedthrough);英國(guó)Wayne Kerr公司產(chǎn)品湖北總代理(精密阻抗分析儀、高頻LCR測(cè)試儀、磁性元件測(cè)量?jī)x),同時(shí)公司還和美國(guó)Stanford Research Systems公司(鎖相放大器、前置放大器、RGA殘余氣體分析儀、QSM四極質(zhì)譜儀、DG535延遲信號(hào)發(fā)生器)、美國(guó)Labtech公司湖北總代理(循環(huán)水冷卻器、電加熱產(chǎn)品)等幾家世界先進(jìn)設(shè)備制造商建立了合作關(guān)系 。
Turbo-V 81-M :
特點(diǎn):
Varian??合分子泵性能優(yōu)良,節(jié)能的同時(shí)也降低了發(fā)熱,提高了復(fù)合分子泵的可靠性,優(yōu)化了空氣散熱的冷卻片,從而獲得更高的穩(wěn)定性。除此之外可以?xún)?yōu)化Turbo-V 81-M MacroTorr 復(fù)合分子泵的幾何結(jié)構(gòu),提高前級(jí)耐壓和足夠大的抽氣量,降低能耗和發(fā)熱,可拆卸的前級(jí)管道接口可選空氣或水冷卻方式進(jìn)行冷卻。
新Turbo-V 81-AG 架裝控制器:
※可從前面板或遙控方式進(jìn)行操作
※可以適用于世界各國(guó)不同電網(wǎng)的電壓和頻率
※在停泵過(guò)程中可顯示泵的轉(zhuǎn)速
※在停泵過(guò)程中可以進(jìn)行反饋制動(dòng)
※可以通過(guò)延時(shí)或設(shè)置開(kāi)啟時(shí)間來(lái)驅(qū)動(dòng)充氣閥
※可以驅(qū)動(dòng)直流24V的泵冷卻風(fēng)扇
※可通過(guò) EyesysMini-IMG真空變送器讀取高真空壓力
※可選擇Profbus 界面
※可選RS-232 或 RS-485 界面
復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù):
| 抽速(l/s) CF4 1/2&ISO63 CF2 3/4&KF40 |
N2:77 He:65 H2:50 N2:50 He:56 H2:46 |
| 壓縮比 | N2: 5×108 He:8×104 H2:7×103 |
| 推薦前級(jí)泵壓強(qiáng) | 5×10-3 mbar/3.8×10-10 Torr |
| 入口法蘭 | CF4 1/2' O.D. ISO63 CF4 3/4' O.D. KF40 |
| 前級(jí)法蘭 | KF16 NW |
| 轉(zhuǎn)速 | 1350Hz(*大值) |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | <60s |
| 推薦前級(jí)泵 | 機(jī)械泵:Varian DS42-DS102 干泵:Varian SH100 |
| 工作位置 | 任意 |
| 冷卻 | 空氣冷卻,也可選空氣或水冷卻 |
| 烘烤溫度 | 120°C入口法蘭(*大值)(CF法蘭) 80°C入口法蘭(*大值)(ISO法蘭) |
| 震動(dòng)(入口法蘭) | <0.01um |
| 重量Kg/ lbs | ISO63: 2/4.4 CF4 1/2: 2.98/6.57 |
復(fù)合分子泵參數(shù)對(duì)照:
| 型號(hào) | Turbo-V-81 M | Turbo-V-81 T | ||
| 規(guī)格 | DN40 | DN63 | DN40 | DN63 |
| 抽速l/s N2/He/H2 |
50/56/46 |
77/66/50 |
50/56/46 |
77/66/50 |
| 壓縮比: N2/He/H2 | 5×108 /8×104 /7×103 | 5×108 /8×104 /7×103 | 7×108 /3×103 /3×102 |
7×108 /3×103 /3×102
|
| 前級(jí)壓強(qiáng),mbar 推薦前級(jí)泵/干泵 |
5×10-10 /5×10-9 |
5×10-10 /5×10-9 |
5×10-9 /5×10-8 |
5×10-9 /5×10-8 |
| 啟動(dòng)時(shí)間,min | <1 | <1 | <1 | <1 |
| 轉(zhuǎn)速,rmp | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 80,000 |
| 推薦前級(jí)泵 機(jī)械泵&干泵 |
DS42-DS102 &SH110 |
DS42-DS102 &SH110 |
DS42-DS102 &SH110 |
DS42-DS102 &SH110 |
| 入口法蘭,直徑, KF /ConFlat /ISO |
40 /35(2.75) /-- |
-- /63(4.5) /63 |
40 /35(2.75) /-- |
-- /63(4.5) /63 |
| 前級(jí)法蘭,直徑,/KF | NW16 | NW16 | NW16 | NW16 |
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