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產(chǎn)品資料

封閉離子源殘余氣體分析儀

封閉離子源殘余氣體分析儀
  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：封閉離子源殘余氣體分析儀
  • 產(chǎn)品型號(hào)：CIS系列
  • 產(chǎn)品展商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
CIS系列封閉離子源殘余氣體分析儀的四極管及接收器皆處于小于10-4 Torr 的壓力，又可以同時(shí)從1-10m Torr 制程壓力，適合壓力大于10-4 Torr的環(huán)境。
產(chǎn)品描述
 CIS100/CIS200/CIS300封閉離子源殘余氣體分析儀
 
應(yīng)用領(lǐng)域：
真空腔殘余氣體分析；真空腔及閥門(mén)檢漏；半導(dǎo)體工業(yè)：刻蝕、濺射、蒸鍍的過(guò)程監(jiān)測(cè)；科研高真空領(lǐng)域：表面科學(xué)、加速器、掃描電鏡、宇航空間模擬室、排氣室等；現(xiàn)場(chǎng)大氣成分分析（大氣污染檢測(cè)、防化的便攜式裝備）；工業(yè)應(yīng)用：反應(yīng)氣體污染的檢測(cè)等。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
※100, 200, 和 300 amu 系統(tǒng),1 ppm 穩(wěn)定探測(cè)
※*大操作壓力10 mTorr , 可檢測(cè)*大1 x 10-12 Torr壓強(qiáng)
※實(shí)時(shí)RGA Windows軟件
※多傳感頭操作,現(xiàn)場(chǎng)可替換電子倍增管和燈絲
※RGA和CIS 模式
 
技術(shù)規(guī)格：
質(zhì)譜
   
離子發(fā)生器
 
型號(hào)
CIS100
CIS 200
CIS 300
設(shè)計(jì)
開(kāi)放離子源,圓柱對(duì)稱,電子沖擊電離
質(zhì)譜范圍
1-100amu
1-200amu
1-300amu
燈絲
現(xiàn)場(chǎng)可替換
質(zhì)譜類型
四極
四極
四極
電子能量
25-105eV,可編程
探測(cè)器類型
法拉第杯(FC)&
電子倍增器(EM)
法拉第杯(FC)&
電子倍增器(EM)
法拉第杯(FC)&
電子倍增器(EM)
離子能量
4/8eV,可編程
分辨率
優(yōu)于1amu
優(yōu)于1amu
優(yōu)于1amu
電子發(fā)射電流
0-1mA,可編程
*大操作壓力
10 mTorr
10 mTorr
10 mTorr
聚焦電壓
0-150V,可編程
*大檢測(cè)壓強(qiáng)
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
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