IDP-3 渦旋式干泵是Varian 公司*新推出的緊湊型全無油的高性能真空泵，能夠適合非常廣泛的應(yīng)用需要。IDP-3 是世界上*小的渦旋泵，用于各種粗真空獲得應(yīng)用，重量僅有9.5Kg，能夠輕而易舉地集成到各種實驗、分析、生產(chǎn)系統(tǒng)當(dāng)中。IDP-3 所具有的50/升/分鐘抽氣速度以及 250mTorr（約33Pa）極限壓強，使其在同級別產(chǎn)品當(dāng)中具有無可匹???的優(yōu)勢。

特點：
※全無油泵，不會污染真空系統(tǒng)
※采用獨立馬達與軸承的密封設(shè)計
※體積小巧：351x181x140mm
※與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強
※無任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機械部件
※低噪聲，低振動

技術(shù)參數(shù)：