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molbox RFM 流量測量主機
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molbox RFM 是一個輔助單元，可使用 molbloc-L 層流和 molbloc-S 聲速流元件進行質量流量測量。
molbloc 流量元件通過兩個壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準數(shù)據(jù)，并利用其內(nèi)置的高精度參考壓力傳感器 (RPT) 測量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測溫儀的電阻，然后由此計算 molbloc 溫度。利用存儲在 molbox RFM 內(nèi)存中的 molbloc 校準數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計算出通過 molbloc 的氣流流速。對于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時，可以選擇微量程選項來提高流量測量分辨度和**度。
molbox RFM 和 molbloc 流量元件應用**，適用于需要高**度測量低氣流的測量、測試和校準應用。對于主要考慮結構緊湊、量程可調性高、成本較低的應用來說，molbox RFM 是理想之選。**種型號 molbox1+ 針對的優(yōu)先考慮不確定度的應用。要配置質量流量校準系統(tǒng)，請查看隨后幾頁，選擇 molbloc 和壓力相關校準，以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統(tǒng)和 COMPASS® for molbox 流量校準軟件可以幫您完善系統(tǒng)。
·結構緊湊
·molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達到了 5000 slm
·從 20 種不同的氣體中選擇
·利用 100:1 可調性實現(xiàn)認證的測量不確定度 ±0.5% 讀數(shù)
·內(nèi)部閥門，可實現(xiàn)內(nèi)置的清洗、泄漏測試和自重支持
·包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等**測量函數(shù)
·完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠程通信
·利用可由用戶設置的參考壓力和溫度狀態(tài)，測量質量和體積流量
流量測量技術指標
molbox RFM 可測量通過 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作壓力和壓力差，或者 molbloc-S 的流量量程、絕壓量程，取決于所使用的 molbloc 元件和校準選項。請參閱 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校準和量程詳情。
molbloc-L 量程*高可達 3E4，可通過微量程選項提高在 10% FS 以下時的分辨率和**度。對于 1E5-L molbloc，**使用微量程選項才能達到技術指標。
molbox RFM |
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molbloc-L（量程從 1E1-L 到 3E4-L） |
molbloc-S（所有量程） |
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測量更新速率
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1 秒 |
1 秒 |
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范圍 |
到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準類型（請參閱 molbloc-L 量程表） |
流量相對于 20 kPa 到 200 kPa 絕壓（3 psia 到 30 psia）或 20 kPa 到 200 kPa 絕壓（7 psia 到 70 psia）上游 （請參閱 molbloc-S 量程表） |
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分辨率 |
0.01% FS |
±0.01% 讀數(shù) |
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線性 |
±0.23% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS ±0.023% FS，在 10% FS 以下 |
±0.25% 讀數(shù) |
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重復性 |
±0.1% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS ±0.01% FS，在 10% FS 以下 |
±0.1% 讀數(shù) |
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**度1 |
±0.25% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS ±0.025% FS，在 10% FS 以下 |
±0.3% 讀數(shù) |
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預測的穩(wěn)定度2 |
±0.15% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS ±0.015% FS，在 10% FS 以下 |
讀數(shù)的 ±0.2％ |
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測量不確定度3
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±0.5% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS ±0.05% FS，在 10% FS 以下 |
±0.5% 讀數(shù)，從 50 kPa 到 500 kPa，±0.5% 流量 @ 50 kPa 從 20 kPa 到 50 kPa |
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具有微量程選項的 molbox RFM |
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molbloc-L（量程從 1E1-L 到 3E4-L） |
molbloc-L（量程僅僅是 1E5) |
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測量更新速率 |
1 秒 |
1 秒 |
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范圍 |
從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準類型（請參閱 molbloc-L 表格） |
從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準類型（請參閱 molbloc-L 表格） |
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分辨率 |
0.01% FS，0.001% FS 以下 10% FS |
0.01% FS |
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線性 |
±0.23% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS；±0.0023% FS，在 1% FS 以下 |
±0.25% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS ±0.0125% FS，在 5% FS 以下 |
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重復性 |
±0.1% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS ±0.001% FS，在 1% FS 以下 |
±0.2% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS ±0.01% FS，在 5% FS 以下 |
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**度1 |
±0.25% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS ±0.0025% FS，在 1% FS 以下 |
±0.32% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS ±0.016% FS，在 5% FS 以下 |
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預測的穩(wěn)定度2 |
±0.15% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS ±0.0015% FS，在 1% FS 以下 |
±0.2% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS ±0.01% FS，在 5% FS 以下 |
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測量不確定度3 |
±0.5% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS ±0.005% FS，在 1% FS 以下 |
±0.5% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS ±0.025% FS，在 5% FS 以下 |
molbloc-S（所有量程）
除了沒有微量程以外，其他技術指標與 molbox RFM 相同。只要將 molbox RFM 連接到 molbloc-S 上，就會禁用微量程傳感器。
1 **度：包含線性度、遲滯和可重復性。
2 預測的穩(wěn)定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時一年內(nèi)從零到范圍值的*大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預測，因此應該根據(jù)經(jīng)驗建立特定 molbox RFM 的穩(wěn)定度。
3 測量不確定度：molbox RFM 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的*大偏差，包括**度、穩(wěn)定度和 DHI 校準標準不確定度。molbloc 的測量不確定度技術指標僅適用于使用的是 molbloc 校準過的氣體的情況。所有 molbloc 都針對 N2 校準過。其他氣體的校準是可選的。并非所有規(guī)格的 molbloc 在所有時間，對所有氣體都提供 DHI 校準功能。請在訂購前檢查是否可用。
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