特點
? 大幅提高的驅(qū)動速度(X 軸: 80 mm/s, Z2 軸立柱: 20mm/s) 進(jìn)一步減少了總的測量時間。
? 為了長時間保持橫向線性規(guī)格，三豐公司采用極堅硬的陶瓷導(dǎo)軌，既抗老化又經(jīng)久耐磨。
? 驅(qū)動器 (X 軸) 和立柱 (Z2 軸) 均配備了高精度線形編碼器 (其中Z2 軸上為ABS 型)。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、對較難定位部件的重復(fù)測量的重復(fù)精度得以提高。

表面粗糙度測量
? 直線度: ±(0.05+0.001L)μm*
專用于需要高精度測量的工件。
*S4 型、H4 型、W4 型；L 為驅(qū)動長度 (mm)
? 符合JIS 82/94/01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等
表面粗糙度的國際標(biāo)準(zhǔn)。
? 標(biāo)準(zhǔn)配置：高精度測頭 (0.75mN / 4mN 測力)，分辨率高至0.0001μm。